Strukturuntersuchungen an Cr-Co-Schichten mittels Röntgenbeugung
5.4. Abhängigkeit der Co-Schichtstruktur von der Substrattemperatur
Bei einer Substratheizung auf 250 °C während der Beschichtung nehmen sowohl die
(10.1)-Orientierung in Richtung der Schichtnormalen, alsauch die Koerzitivfeldstärke ab.
Obwohl die zweite und dritte Probe dieser Serie bei gleicher Substrattemperatur abgeschieden wurden,
unterscheiden sich ihre Koerzitivfeldstärken, was sich auch in den Werten für den magnetischen
Fluß zeigt.
Aus den Orientierungsverteilungen ergibt sich: Bei der Probe mit ungeheiztem Substrat liegt
eine teilweise texturierte Schicht vor. Eine Erhöhung der Substrattemperatur bewirkt
offenbar trotz abnehmender (10.1)-Orientierung der Kristallite in Richtung der schichtnormalen
eine stärkere Ausbildung der Textur. Der Verlauf der Temperatur geht mit zunehmender
Temperatur von Typ II zu Typ I über.
Die Kristallitgröße nimmt geringfügig wie die Koerzitivfeldstärke ab.
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