Strukturuntersuchungen an Cr-Co-Schichten mittels Röntgenbeugung
3. Strukturuntersuchungen dünner Co-Schichten
Es wurden dünne Cr-Co-Schichten auf Aluminiumsubstraten in Reflexion und Transmission
untersucht.
Die Messungen erfolgten mit monochromatisierter CrK-alpha-Strahlung
der Wellenlänge 0,229 nm.
Wegen der Anregung der Cr-Floureszenzstrahlung war es nicht möglich, Co-Strahlung
einzusetzen.
Es wurde ein Horizontal-Zählrohr-Goniometer HZG 1 benutzt.
Da die CrK-alpha-Strahlung stark von Luft gestreut und absorbiert
wird und der Weg zwischen Röntgenquelle und Detektor infolge der vom Goniometer
vorgegebenen Geometrie relativ lang ist, mußte der Strahlengang durch evakuierbare
Röhren im Vakuum geführt werden, um registrierbare Signale von der Co-Schicht zu
erhalten.
Die Primärstrahlausttrittsblende war bei allen Messungen 0,5 und die
Detektoereintrittsblende 1,2 mm geöffnet.
In symmetrischer Reflexion trifft der Primärstrahl unter dem Winkel Thetta auf die
Probe und wird dort reflektiert. Der Detektor ist dabei unter einem Winkel 2Thetta zum
Primärstrahl angeordnet. Dies wird bei Änderung des Einfallswinkels durch das
Getriebe des Goniometers im Diffraktometerbetrieb realisiert.
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