Strukturuntersuchungen an Cr-Co-Schichten mittels Röntgenbeugung
5.7. Abhängigkeit der Co-Schichtstruktur von den Sputterleistungen
Die (10.1)-Orientierung nimmt in Richtung der Schichtnormalen mit steigender Co-Sputterleistung
bei konstanter Cr-Sputterleistung zu.
Bei konstanter Co-Sputterleistung nimmt die (10.1)-Intensität mit steigender
Cr-Sputterleistung ab.
Die Orientierungsverteilungen sind für die meisten Proben dieser Serie vom Typ II,
was auf eine teilweise texturierte Struktur hinweist.
Bei zwei Proben, für die eine kleinere Kristallitgröße ermittelt wurde,
verläuft die Orientierungsverteilung nach Typ I, das heißt, es liegt jeweils eine
gut texturierte Schicht vor.
Bei niedriger Co-Sputterleistung kann auch bei einer teilweise texturierten Schicht eine
relativ hohe Koerzitivfeldstärke erreicht werden. Dies müßte eigentlich mit
kleineren Kristallitgrößen korrelieren, was sich aber anhand der aus den
Halbwertsbreiten berechneten Kristallitgrößen nicht eindeutig zeigt.
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