Strukturuntersuchungen an Cr-Co-Schichten mittels Röntgenbeugung
5.8. Einfluß des O2-Partialdruckes während der Beschichtung auf die Struktur der Co-Schicht
Die zunehmende Anwesenheit von Sauerstoff während der Beschichtung bewirkt eindeutig eine
zunehmende Verschlechterung der magnetischen Eigenschaften der Schicht.
Die (10.1)-Textur in Richtung der Schichtnormalen und die Kristallitgröße verringern
sich mit steigendem O2-Partialdruck.
In dieser Serie traten alle drei Orientierungsverteilungstypen auf. Ohne Sauerstoff liegt eine
völlig ausgeprägte Textur vor. Bei geringem bis mittlerem
O2-Druck verläuft die Orientierungsverteilung nach Typ II.
Bei noch weiter erhöhtem O2-Anteil stellt sich eine polykristalline
Struktur ein.
Kristallines Kobaltoxid wurde nicht festgestellt.
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