Strukturuntersuchungen an Cr-Co-Schichten mittels Röntgenbeugung
 
Inhaltsübersicht

1. Einleitung und Aufgabenstellung
 
2. Struktur und ferromagnetische Eigenschaften dünner Kobaltschichten
2.1. Anisotropie und Koerzitivfeldstärke
2.2. Kobaltschichten mit Zusatzelementen
2.3. Einfluß des Substrates
2.4. Zusammenhang zwischen Kristallitgröße und magnetischen Eigenschaften
2.5. Weitere Aspekte zu dünnen Kobaltschichten
 
3. Strukturuntersuchungen dünner Co-Schichten
3.1. Phasenanalyse
3.2. Kristallitgrößenbestimmung
3.3. Texturbestimmung
 
4. Proben
4.1. Probenmaterial
4.2. Präparation
 
5. Ergebnisse
5.1. Abhängigkeit vom Spurradius r und vom Beschichtungsabstand
5.2. Abhängigkeit der Struktur der Co-Schichten von der Ausbildung eines Beschichtungsringes bei Substratheizung
5.3. Abhängigkeit der Struktur von Co-Einzelschichten von der Schichtdicke
5.4. Abhängigkeit der Co-Schichtstruktur von der Substrattemperatur
5.5. Abhängigkeit der Co-Schichtstruktur von der Substratdrehzahl
5.6. Abhängigkeit der Co-Schichtstruktur vom Beschichtungsdruck
5.7. Abhängigkeit der Co-Schichtstruktur von den Sputterleistungen
5.8. Einfluß des O2-Partialdruckes während der Beschichtung auf die Struktur der Co-Schicht
5.9. Reproduzierbarkeit der Herstellungsbedingungen, Unterschiede zwischen A- und B-Versuch
5.10. Abhängigkeit der Stufe in der Hysteresekurve von der Struktur der Co-Schichten
5.11. Untersuchung von galvanisch abgeschiedenen Schichten
 
6. Zusammenfassung
 
Literaturnachweise
 


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