Strukturuntersuchungen an Cr-Co-Schichten mittels Röntgenbeugung
3.2. Kristallitgrößenbestimmung
Die Halbwertsbreite des Reflexes hängt von der Kristallitgröße ab.
Die Kristallitgröße läßt sich nach folgender Formel berechnen /22/:
Dabei bedeuten: L - Kristallitgröße, lambda - Wellenlänge der verwendeten
Röntgenstrahlung, B1/2 - Halbwertsbreite und th - Braggwinkel.
Geometrie- und Absorptionseinflüsse werden in dieser Formel nicht berücksichtigt.
Da bei symmetrischer Bestrahlung nur die Reflexe, deren Kristallitorientierung mit der
Richtung der Schichtnormalen übereinstimmen, im Beugungsdiagramm erscheinen, lassen sich
nur die Kristallitabmessungen in Richtung der Schichtnormalen ermitteln /35/.
weiter
|
