Strukturuntersuchungen an Cr-Co-Schichten mittels Röntgenbeugung
5.5. Abhängigkeit der Co-Schichtstruktur von der Substratdrehzahl
Die (10.1)-Orientierung in Richtung der Schichtnormalen nimmt auch in dieser Serie mit wachsender
Koerzitivfeldstärke zu.
Bei kleinen Hc-Werten ergeben sich Abweichungen, die mit Unterschieden
in Kristallitgröße und magnetischem Fluß in Zusammenhang stehen.
Es fällt auf, daß bei kleinen Drehzahlen kleinere Kristallite als bei größeren
Drehzahlen zu verzeichnen sind.
Bei kleiner Sputterrate läßt sich eine Erhöhung der Hc-Werte
mit steigender Drehzahl feststellen. Bei größerer Sputterrate deutet sich ein
umgekehrter Zusammenhang an.
Der Verlauf der Orientierungsverteilungen läßt sich nicht mit den Drehzahlen
korrelieren. Hierbei spielen offenbar andere Ursachen eine Rolle.
Ausführlichere Ergebnisse in /35/.
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